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1 总体参数
1.1 水含量 | 0~100 ppm |
1.2 气体流量 | 0~600 sccm |
1.3 载气 | 特气 |
1.4 连续运行时长 | 12 个月 |
1.5管路材质 | SUS316L |
1.6额定功率 | 500W@220VAC 50Hz |
2 工作原理
图1 微量水分发生器工艺流程图
(1) 湿路载气经减压阀2-1#调节到5bar AG,在饱和器中加湿,得到约2000ppm的饱和含湿气体;饱和含湿气体经过减压阀2-2#调节到2bar AG左右,再经质量流量控制器2#调节流量。
(2) 干路载气经减压阀1-1#调节到2bar AG左右,再经质量流量控制器1#调节流量。
(3) 干路和湿路气体流量比例控制在19:1,再经过混合器后得到湿度约100ppm的目标含湿气体输出。
(4) 饱和器通过冷水机控温,使其温度在10℃
3 设备接口
桌面式机箱,
载气入口:1/8’’ 卡套
气体出口:1/8’’ 卡套